Các chất bay hơi như kim loại, hợp chất, vv được đặt trong nồi nấu hoặc được treo trên dây nóng làm nguồn bốc hơi và các chất nền được mạ như kim loại, gốm sứ, nhựa, vv được đặt ở phía trước của chén. Sau khi hệ thống được bơm đến chân không cao, vật liệu bị bốc hơi bằng cách đun nóng chén nung. Các nguyên tử hoặc phân tử của vật liệu bay hơi được lắng đọng trên bề mặt của chất nền theo cách cô đặc. Độ dày màng có thể dao động từ hàng trăm angstrom đến vài micron. Độ dày màng được xác định bởi tốc độ bay hơi và thời gian của nguồn bốc hơi (hoặc tùy thuộc vào lượng điện tích) và có liên quan đến khoảng cách giữa nguồn và đế. Đối với lớp phủ diện tích lớn, chất nền quay hoặc nhiều nguồn bốc hơi thường được sử dụng để đảm bảo độ đồng đều của độ dày màng. Khoảng cách từ nguồn bay hơi đến bề mặt phải nhỏ hơn đường dẫn tự do trung bình của các phân tử hơi trong khí dư để các phân tử hơi không va chạm với các phân tử khí dư để gây ra phản ứng hóa học. Động năng trung bình của các phân tử hơi là khoảng 0,1-0,2 volt điện tử.
Các chất bay hơi như kim loại, hợp chất, vv được đặt trong nồi nấu hoặc được treo trên dây nóng làm nguồn bốc hơi và các chất nền được mạ như kim loại, gốm sứ, nhựa, vv được đặt ở phía trước của chén. Sau khi hệ thống được bơm đến chân không cao, vật liệu bị bốc hơi bằng cách đun nóng chén nung. Các nguyên tử hoặc phân tử của vật liệu bay hơi được lắng đọng trên bề mặt của chất nền theo cách cô đặc. Độ dày màng có thể dao động từ hàng trăm angstrom đến vài micron. Độ dày màng được xác định bởi tốc độ bay hơi và thời gian của nguồn bốc hơi (hoặc tùy thuộc vào lượng điện tích) và có liên quan đến khoảng cách giữa nguồn và đế. Đối với lớp phủ diện tích lớn, chất nền quay hoặc nhiều nguồn bốc hơi thường được sử dụng để đảm bảo độ đồng đều của độ dày màng. Khoảng cách từ nguồn bay hơi đến bề mặt phải nhỏ hơn đường dẫn tự do trung bình của các phân tử hơi trong khí dư để các phân tử hơi không va chạm với các phân tử khí dư để gây ra phản ứng hóa học. Động năng trung bình của các phân tử hơi là khoảng 0,1-0,2 volt điện tử.
Có ba loại nguồn bốc hơi. (1) Nguồn nhiệt điện trở: Một kim loại chịu lửa như vonfram hoặc tantali được sử dụng để tạo thành một lá thuyền hoặc dây tóc, được làm nóng bằng dòng điện, làm nóng trên nó, hoặc đặt trong nồi nấu (Hình 1 [Sơ đồ bay hơi thiết bị lớp phủ]). Nguồn chủ yếu được sử dụng để bay hơi Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni và các vật liệu khác. 2 Hệ thống sưởi cảm ứng tần số cao Nguồn: Sử dụng dòng cảm ứng tần số cao để làm nóng heli và các vật liệu bay hơi. 3 Nguồn nhiệt chùm tia điện tử: Thích hợp cho các vật liệu có nhiệt độ bay hơi cao (không ít hơn 2000 [618-1]), nghĩa là, bắn phá vật liệu bằng chùm electron để bay hơi.